ꄶ ESC 静电吸盘

• AI2O3 ESC

• AIN ESC

• Polymide ESC

ꄶ Vacuum Chuck 真空吸盘

• SiC Chuck

• AI2O3 Vacuum Chuck

Heater 加热器

Shower Head 喷淋头

ꄶ Ceramics Parts 陶瓷部件

• 陶瓷环 Ring

• 陶瓷窗 Window

• 陶瓷喷嘴 Nozzle