产品展示

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产品分类

Showerhead（气体喷淋头）
¥ 0.00
Anodizing
良好的热导率
¥ 0.00
Heater
提供并维持晶圆加工所需的精确温度（范围通常从室温到 650°C 甚至更高）。确保整个晶圆表面的温度均匀性。主要应用场景：化学气相沉积 物理气相沉积
¥ 0.00
Vacuum Chuck 真空吸盘
变形小，稳定性好
适用于光刻及量测设备
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陶瓷环 Ring
Si/SiC/Al2O3/石英等多种材质
¥ 0.00
陶瓷喷嘴 Nozzle
Al2O3/Y2O3材质
降低腐蚀性气体带来的金属污染
¥ 0.00
Al2O3 ESC
良好的热导率
优异的耐等离子性能

L1 Repair 表面修复
　表面粗糙度改善/平面度改善/凸点再生
L2 Repair 接合层修复
　金属基座与陶瓷盘再接合/接合层再充填
L3 Repair 陶瓷盘更换
　陶瓷盘制造/金属基座与陶瓷盘再接合
L4 Repair 陶瓷盘与Heater更换
　Heater制造/金属基座与陶瓷盘、Heater再接合
L0 New Product
　全新品制造
¥ 0.00
AlN ESC
优异的热导率
适用于高温环境

L1 Repair 表面修复
　表面粗糙度改善/平面度改善/凸点再生
L2 Repair 接合层修复
　金属基座与陶瓷盘再接合/接合层再充填
L3 Repair 陶瓷盘更换
　陶瓷盘制造/金属基座与陶瓷盘再接合
L4 Repair 陶瓷盘与Heater更换
　Heater制造/金属基座与陶瓷盘、Heater再接合
L0 New Product
　全新品制造
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Polymide ESC
具有成本优势

L1 Repair 表面修复
　表面粗糙度改善/平面度改善/凸点再生
L2 Repair 接合层修复
　金属基座与陶瓷盘再接合/接合层再充填
L3 Repair 陶瓷盘更换
　陶瓷盘制造/金属基座与陶瓷盘再接合
L4 Repair 陶瓷盘与Heater更换
　Heater制造/金属基座与陶瓷盘、Heater再接合
L0 New Product
　全新品制造
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