Heater
提供并维持晶圆加工所需的精确温度（范围通常从室温到 650°C 甚至更高）。确保整个晶圆表面的温度均匀性。主要应用场景：化学气相沉积 物理气相沉积
提供并维持晶圆加工所需的精确温度（范围通常从室温到 650°C 甚至更高）。确保整个晶圆表面的温度均匀性。主要应用场景：化学气相沉积 物理气相沉积
