Showerhead（气体喷淋头）
Showerhead（气体喷淋头）是刻蚀设备、CVD设备的关键部件之一，主要作用是将反应气体均匀分布到反应腔内。通常为多孔圆盘状设计，孔洞分布经精密计算，材料需耐等离子体刻蚀。
Showerhead（气体喷淋头）是刻蚀设备、CVD设备的关键部件之一，主要作用是将反应气体均匀分布到反应腔内。通常为多孔圆盘状设计，孔洞分布经精密计算，材料需耐等离子体刻蚀。
